Profilm3D 光學(xué)輪廓儀

低成本 – 高精度

Filmetrics讓3D光學(xué)輪廓測量的價格變得能夠接受。Profilm3D使用的垂直干涉掃描(WLI)與高精度的相位干涉(PSI)技術(shù)。以優(yōu)勢的價格實現(xiàn)次納米級的表面形貌研究。

100mm自動XY樣品臺

您還在位每人都希望要的功能而支付額外的費用嗎？我們現(xiàn)在每臺Profilm3D都將100mm自動XY樣品臺，4孔物鏡轉(zhuǎn)臺和手動調(diào)平裝置作為標準配置。

超大的視場范圍

Profilm3D僅用10倍物鏡就提供了達到2mm的超大視場范圍，同時其4倍光學(xué)變焦的功能緩解了不同應(yīng)用時切換多個物鏡的需求。這些都進一步降低了采購成本。

1 特征值

2 8 μm 臺階高度

3 度是指每天測量30次10um臺階高度標樣的1次標準差，連續(xù)成功測量20天的平均值。環(huán)境溫度穩(wěn)定性小于 1°C。

穩(wěn)定性是指連續(xù)成功測量10um臺階高度標樣20天，取每天測量30次數(shù)值的平均值，計算2倍標準差。環(huán)境溫度穩(wěn)定性小于 1°C。

4 所有變焦縮放后的有效像素為648 x 484 (通過數(shù)位化的pixel binning實現(xiàn))

5 分開銷售

6 樣品上投影的像素大小

7 樣品表面粗糙時可測傾角將更大