-Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)x—F60

生產(chǎn)環(huán)境的自動(dòng)測(cè)繪

-Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)x F60-t 系列就像我們的 F50產(chǎn)品一樣測(cè)繪薄膜厚度和折射率，但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。 這些功能包括凹槽自動(dòng)檢測(cè)、自動(dòng)基定、全封閉測(cè)量平臺(tái)、預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī)，以及升級(jí)到全自動(dòng)化晶圓傳輸?shù)臋C(jī)型。

不同的 F60-t 儀器根據(jù)波長(zhǎng)范圍加以區(qū)分。 較短的波長(zhǎng) (例如， F60-t-UV) 一般用于測(cè)量較薄的薄膜，而較長(zhǎng)的波長(zhǎng)則可以用來(lái)測(cè)量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。 .

選擇Filmetrics的優(yōu)勢(shì)

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附加特性

• 嵌入式在線診斷方式

• 免費(fèi)離線分析軟件

• 精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能，幫助用戶(hù)有 效存儲(chǔ)，重現(xiàn)與繪制測(cè)試結(jié)果