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P-7臺(tái)階儀支持從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。

型號(hào)：P-7

更新日期：2023-06-05

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Alpha-Step D-600臺(tái)階儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D和3D臺(tái)階高度。 D-600還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D和3D測量。 D-600包括一個(gè)電動(dòng)200毫米樣品卡盤和的光學(xué)系統(tǒng)以及加強(qiáng)視頻控制。

型號(hào)：D-600

更新日期：2019-07-22

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Alpha-Step D-500臺(tái)階儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D臺(tái)階高度。 D-500還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測量。 D-500包括一個(gè)手動(dòng)140毫米平臺(tái)和的光學(xué)系統(tǒng)以及加強(qiáng)視頻控制。

型號(hào)：D-500

更新日期：2023-06-05

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Zeta-20白光共聚焦是一款緊湊牢固的全集成光學(xué)輪廓顯微鏡，可以提供3D量測和成像功能。該系統(tǒng)采用ZDot™技術(shù)，可同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。 Zeta-20具備Multi-Mode（多模式）光學(xué)系統(tǒng)、簡單易用的軟件、以及低擁有成本，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。

型號(hào)：Zeta-20

更新日期：2023-07-24

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Zeta-20臺(tái)式光學(xué)輪廓儀是一款緊湊牢固的全集成光學(xué)輪廓顯微鏡，可以提供3D量測和成像功能。該系統(tǒng)采用ZDot技術(shù)，可同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。 Zeta-20具備Multi-Mode（多模式）光學(xué)系統(tǒng)、簡單易用的軟件、以及低擁有成本，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。

型號(hào)：

更新日期：2024-08-08

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Surface Stylus Profilers 探針式表面輪廓儀 P-7KLA是半導(dǎo)體在線檢測設(shè)備市場的供應(yīng)商，在半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存 儲(chǔ)、 MEMS 、太陽能、光電子以及其他領(lǐng)域中有著市占率。P-7 是KLA公司的第八代探針式臺(tái)階儀系統(tǒng)，歷經(jīng)技術(shù)積累和不斷迭代更新，集合眾多技術(shù)優(yōu)勢(shì)。P-7建立在市場的P-17臺(tái)式探針輪廓分析系統(tǒng) 的成功基礎(chǔ)之上。

型號(hào)：KLA P-7

更新日期：2024-08-08

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Filmetrics 已經(jīng)讓光學(xué)輪廓測量變得容易承受。Filmetrics Profilm3D 光學(xué)輪廓儀使用垂直掃描干涉技術(shù) （VSI ），結(jié)合可選的高精度相移干涉技術(shù)（PSI ） 來提供納米尺度的表面形貌測量

型號(hào)：Profilm-3D

更新日期：2024-08-08

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