薄膜厚度測量儀測量方法和準備工作
2020-01-13
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薄膜厚度測量儀又名膜厚測試儀，分為手持式和臺式二種，手持式又有磁感應鍍層測厚儀，電渦流鍍層測厚儀，熒光X射線儀鍍層測厚儀。手持式的磁感應原理是，利用從測頭經(jīng)過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小，來測定覆層厚度。也可以測定與之對應的磁阻的大小，來表示其覆層厚度。那么，如何正確操作使用膜厚儀？珠海天創(chuàng)儀器公司為大家詳細介紹：
薄膜厚度測量儀測定準備
?。?）確保電池正負極方向正確無誤后設(shè)定。
?。?）探頭的選擇和設(shè)定：在探頭上有電磁式和渦電流式2種類型。對準測定對象，在本體上進行設(shè)定。
測定方法
（1）探頭的選擇和安裝方法：確認電源處于OFF狀態(tài)，與測定對象的質(zhì)地材質(zhì)接觸，安裝LEP-J或LHP-J。
?。?）調(diào)整：確認測定對象已經(jīng)被調(diào)整。未調(diào)整時要進行調(diào)整。
?。?）測定：在探頭的末端加一定的負荷，即使用[一點接觸定壓式]。抓住與
測定部接近的部分，迅速在與測定面成垂直的角度按下。下述的測定，每次都
要從探頭的前端測定面開始離開10mm以上。使用管狀的東西連續(xù)測定平面時，如果采用探頭適配器，可以更加穩(wěn)定地進行測定。
薄膜厚度測量儀的常見故障及處理方法：
一、薄膜厚度測量儀不開機：
?、僬垯z查確認電池是否有電，或更換新的電池。
?、谡垯z查電池是否接觸良好，且電極片沒有氧化或生銹等-（如生銹—可用工具刮掉氧化層）
?、壅垯z查按鍵是否按壓到位，且按鍵正常有彈性。
④其它主機線路故障咨詢公司售后服務(wù)或返廠檢修
二、薄膜厚度測量儀測量不準：
?、僬埾刃邢到y(tǒng)校準儀器，標定，使之符合誤差范圍誤差遵循≦3%(厚度值）±1um如需測試更加請在被測工件的光滑裸基（而不是隨機帶的的鐵塊）進行系統(tǒng)校準。
?、谡垯z查探頭前端是否磨損，是否變形，有附著物質(zhì)等探頭外護套是否不在水平等,變形可適當用砂紙打磨修正，處理干凈.
?、郾粶y件基材表面粗糙度影響，引起系統(tǒng)誤差和偶然誤差測量時在不同位置增加測量次數(shù)，克服偶然誤差?；蛴蒙凹埓蚰セ闹匦滦x器零點。
④測量手法以及探頭的放置需保持探頭與試樣垂直
?、荼粶y件曲度在該探頭所適應的曲率半徑下，重新校準。尤其管道凸面，注意探頭V型卡槽穩(wěn)定放置。
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